5軸水平多関節型クリーンロボットGTCR5000-AMシリーズ
シングルアームでありながらツインアームの機能を確保しております。
300mm対応5軸水平多関節型クリーンロボットGTCR5000シリーズは、ツインチャックを搭載することでシングルアームでありながらツインアームの機能を確保し、300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：株式会社ジェーイーエル
- 価格：応相談
